全自动膜厚测量仪

jy-filmthick-ct18

复杂建模分析 纳米级gao jing du

膜厚解析算法 jing mi光谱干涉测厚法

千赫兹光谱采样速率

产品简介

景颐光电全自动膜厚测量仪jy-filmthick-ct18利用光干涉原理，设计高稳定测试大平台，桥驾式探测头结构，xy轴超大行程，可测量1.2x0.7m的大尺寸样品，一键测试输出自动定位对样品进行非接触式无损、gao jing du多点位测量，可应用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等薄膜层的厚度测量。opticafilmtest光学膜厚测量软件采用fft傅里叶法、拟合法多种gao jing du算法，可设置数百个测试点位，测量样品反射率、颜色、膜厚等参数，还包含了类型丰富的材料折射率数据库，开放式材料数据库，有效地协助用户进行测试分析，测量期间能实时显示干涉、fft波谱和膜厚等趋势。

应用领域

覆盖行业

gao jing mi膜厚测量案例

半导体

硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、氧化物/氮化物工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层

液晶显示

oled、玻璃厚度、聚酰亚胺、lcd tft、ito与其他tco

光学镀层

hc硬涂层、ar抗反射层、ag防眩光涂层、滤光片眼镜

生物医学

parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备

薄膜

ar膜、hc膜、pet膜

产品特性

一键输出自动定位多点位测试

采用高强度氘钨灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围

基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析膜层厚度

配置强大核心分析算法：fft分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息

曲线拟合分析法（curve fitting）分析薄膜

fft（快速傅里叶解析法）分析厚膜

技术参数

项目	参数
型号	jy-filmthick-ct18
膜厚测量波长范围	400nm-1000nm
膜厚检测范围	1μm-250μm
测量精度	0.2%
光斑大小	直径3mm
大样品尺寸	1200x700mm
单次测试时间	you yu1秒
膜厚测量方式	单点自动定位检测
测试点位数量	多可设定200个测试点位
移动轴向	xy轴移动
可测量参数	反射率、膜厚、颜色
报告数据	可输出样品不同区域测试数据文件
自动判断	可自定义测试判断条件，自动判断ok或者ng
定位精度	0.05mm
显示	内嵌工业级平板电脑
选配定制功能	透光率、折射率等