全自动膜厚测量仪 J…

全自动膜厚测量仪JY-FILMTHICK-CT18复杂建模分析纳米级高精度膜厚解析算法精密光谱干涉测厚法千赫兹光谱采样速率产品简介景颐光电全自动膜厚测量仪JY-FILMTHICK-CT18利用光干涉原理，设计高稳定测试大平台，桥驾式探测头结构，XY轴超大行程，可测量1.2x0.7m的大尺寸样品，一键测试输出自动定位对样品进行非接触式无损、高精度多点位测量，可... 查看更多+

全自动膜厚测量仪 JY-FILMTHICK-CT18

复杂建模分析纳米级高精度

膜厚解析算法精密光谱干涉测厚法

千赫兹光谱采样速率

产品简介

景颐光电全自动膜厚测量仪JY-FILMTHICK-CT18利用光干涉原理，设计高稳定测试大平台，桥驾式探测头结构，XY轴超大行程，可测量1.2x0.7m的大尺寸样品，一键测试输出自动定位对样品进行非接触式无损、高精度多点位测量，可应用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等薄膜层的厚度测量。

OPTICAFILMTEST光学膜厚测量软件采用FFT傅里叶法、

值法、拟合法多种高精度算法，可设置数百个测试点位，测量样品反射率、颜色、膜厚等参数，还包含了类型丰富的材料折射率数据库，开放式材料数据库，有效地协助用户进行测试分析，测量期间能实时显示干涉、FFT波谱和膜厚等趋势。

应用领域

半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、氧化物/氮化物工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层
液晶显示：OLED、玻璃厚度、聚酰亚胺、LCD TFT、ITO与其他TCO
光学镀层：HC硬涂层、AR抗反射层、AG防眩光涂层、滤光片、眼镜
生物医学：Parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备
薄膜：AR膜、HC膜、PET膜

行业案例

氟塑料薄膜：厚度162um
光刻胶：厚度72nm
派瑞林(parylene)：厚度2496nm
ITO膜氧化铟锡：厚度36nm
SiO2二氧化硅硅晶圆：厚度2108nm
钙钛矿：厚度16.7nm
量子点：厚度38.3nm
PI膜：厚度30628nm
聚氨酯：厚度26480nm
HC硬化层：厚度52360nm
微流控涂层：厚度3012nm
PDMS薄膜聚二甲基硅氧烷：厚度10.8nm

产品特性

一键输出自动定位多点位测试
采用高强度氘钨灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围
基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析膜层厚度
配置强大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲线拟合法分析法分析薄膜的物理参数信息
- 曲线拟合分析法（Curve fitting）分析薄膜
- FFT（快速傅里叶解析法）分析厚膜
- ji值分析法

技术参数

参数	内容
型号	JY-FILMTHICK-CT18
膜厚测量波长范围	400nm-1000nm
膜厚检测范围	1μm-250μm
测量精度	0.2%
光斑大小	直径3mm
zui大样品尺寸	1200x700mm
单次测试时间	优于1秒
膜厚测量方式	单点自动定位检测
测试点位数量	zui多可设定200个测试点位
移动轴向	XY轴移动
可测量参数	反射率、膜厚、颜色
报告数据	可输出样品不同区域测试数据文件
自动判断	可自定义测试判断条件，自动判断OK或者NG
定位精度	0.05mm
显示	内嵌工业级平板电脑
选配定制功能	透光率、折射率等

合作客户

华为、中国科学院上海技术物理研究所、北京大学、清华大学、JCET、宁德时代、比亚迪、中国航天